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★459.567 공정플라즈마특강 3-3-0
  • 카테고리미분류
  • 작성자admin
  • 날짜2017-02-13 17:14:09
  • 조회수486

Topics in Plasma Processing

최근 플라즈마의 산업적 이용에 대한 현황을 살펴보고, 저온 공정 플라즈마의 종류와 응용, 식각 및 박막용 저온 플라즈마의 특성 및 발생 방법, 공정종류에 따른 플라즈마 화학반응, 전원 종류 및 공정 방법에 따른 각종 플라즈마 열원과 반응로 설계 제작 방법, 공정 플라즈마의 집단계측방법, 플라즈마 최적 공정 실험, 그리고 공정 소재의 물성 분석 및 특성 조사 방법 등에 관한 내용들을 학습한다.

This course deals with current issues on industrial application of plasma, low-temperature plasmas, and the generation of various types of plasma. It also covers plasma chemistry and plasma of thermal source, and processing plasma reactor design with consideration of the processes.

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