SEOUL NATIONAL UNIVERSITY
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김곤호 교수, 30동 102호, 02-880-8971

http://pal.snu.ac.kr/

플라즈마응용연구실은 플라즈마 응용 기술을 통한 행복한 생활을 목표로 플라즈마 현상에 대한 기저 연구 및 산업 플라즈마 응용에 기초한 플라즈마 공학 연구 개발을 수행하고 있다.

플라즈마 응용 연구실에서 최근 연구 중인 저온 플라즈마 및 열 플라즈마 연구 주제는 다음과 같다.

    (1)  IT 기술에 대한 플라즈마 응용 연구

        : 반도체 및 디스플레이 산업을 위한 공정 플라즈마 장비 개발 및 플라즈마 공정 관리

    (2) 핵융합 플라즈마-디버터 표면 반응 연구

        : 고열 및 고 중성자속에 견디는 핵융합 디버터 재료 및 구조 개발

    (3) 바이오 플라즈마 응용 연구

       : 생체 질병 치료 목적의 플라즈마 장비 및 농식품 관련 바이오 플라즈마 공정기술 개발

 

 본 연구실은 300 mm 급 다중 주파수 용량 결합형 플라즈마 장치, 다중 주파수 유도 결합형 플라즈마 장치, 헬리콘 플라즈마 장치, 전자 사이클로트론 공명 플라즈마 장치, 유전 격벽 방전 장치와 같은 다양한 공정 플라즈마 장비를 보유하고 있다.

공정 플라즈마 장비 외에도 플라즈마 생체 의학 연구를 위해 aqua-plasma라 불리는 물속의 마이크로 플라즈마 방전 장치와 상압 플라즈마 제트 장치를 개발하였으며, 핵융합 장치의 대면재 개발 연구를 위한 DC 200/300 kW 급 열 플라즈마 토치, 수소/중수소 열탈착 에너지 해석 장치(Thermal Desorption Spectroscopy)를 운용하고 있다.

 본 연구실은 자체 개발한 여러 종류의 정전 탐침과 광진단 장치를 이용하여 다양한 플라즈마에 대한 실험들을 수행하고 있으며, 실험 결과를 바탕으로 플라즈마 물성 이해를 위한 연구를 수행하고, 산업 공정에 필요한 새로운 플라즈마 진단법을 개발하고 있다.

공정 플라즈마 장비 외에도 플라즈마 생체 의학 연구를 위해 aqua-plasma라 불리는 물속의 마이크로 플라즈마 방전 장치와 상압 플라즈마 제트 장치를 개발하였으며, 핵융합 장치의 대면재 개발 연구를 위한 DC 200/300 kW 급 열 플라즈마 토치, 플라즈마 화학 연구를 위한 4 MHz RF 유도 결합형 플라즈마 토치를 운용하고 있다.

 본 연구실은 개발한 여러 종류의 정전 탐침과 광진단 장치를 이용하여 다양한 플라즈마에 대한 실험들을 수행하고 있으며, 실험 결과를 바탕으로 플라즈마 물성 이해를 위한 연구를 수행하고, 산업 공정에 필요한 새로운 플라즈마 진단법을 개발하고 있다. 

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